二手 NIKON NSR 1505 G6E #9207086 待售

NIKON NSR 1505 G6E晶圆步进器是一种高度先进的半导体光刻步进器。这种设备专为200毫米晶圆而设计，并结合了独特的衍射限制光学和专利浸没技术。Optics采用多光束扫描技术，意味着同时使用多光束来实现卓越的图像分辨率和精度。浸入技术在透镜和晶圆之间应用液体浸入介质，以提高精度和减少光学像差。这种步进器还具有双光束掩模对准器，它结合了两个光束在晶圆上精确地暴露掩模，并提供一流的边缘放置精度和剂量均匀性。NIKON NSR-1505G6E Wafer Stepper的高级阶段设计允许使用更大的基材尺寸,精度更高。其先进的大型晶片级具有600 x 600mm的XY工作面积和平滑的受控运动,可实现最佳的稳定性和精度。它还具有带有高性能晶圆保护设备的大型工作包络,可防止由于处理不当而造成任何不需要的掩码或晶圆损坏。NSR 1505 G6E Wafer Stepper具有强大的晶圆扫描功能,可实现高达1200晶圆/小时的吞吐量速度。它还可以在一个周期内处理多个操作，例如在暴露晶圆掩模的同时即时写入曝光数据。该系统还包含一个质量控制单元，该单元监测晶片对准和注册，并在自动生产运行期间自动管理晶片到晶片的曝光点。在安全特性方面，NSR-1505G6E晶圆步进器配备了安全快门，以保护步进器在操作异常时不受损坏。它还具有人界面断路器，在电气过载时切断电源。此外，还有一台自动保护机器，用于保护光学设备免受过度辐射的危险。总体而言,NIKON NSR 1505 G6E Wafer Stepper是一款可靠、高性能的平版印刷工具,融合了一系列高级功能和安全保护,是半导体加工的理想选择。