二手 NIKON NSR 1505 G6E #9209620 待售

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ID: 9209620
晶圆大小: 4"
优质的: 1988
Stepper, 4" Main computer: System: PDP Hard disk Disk drive: Floppy Illumination type: Shrinc type: Conversion Revolver type: Conversion Wafer stage: Chuck type: 4" Pin Screw type: Ball Reticle alignment: ISS Reticle microscope: 15 mm Wafer alignment: WGA, LSA Auto focus: Single Wafer loader: Wafer size: 4" Loader type: Type1 OF Type: Flat Flat zone: 6C In-line: No Cassette: Left, Right Control rack position: Right PPD1: No Barcode system: No Chamber type: ASAHI S71 1988 vintage.
NIKON NSR 1505 G6E是日本厂商NIKON製造的高度先进的晶圆步进器。步进器设计用于精确加工晶片,用于各种半导体元件和其他器件的批量生产。NIKON NSR-1505G6E利用NIKON亚半微米分辨率技术(SHMR)。这项技术允许在临界维度上处理小至0.3 µm的特徵。NSR 1505 G6E实现了非常精确的迭加和圆度可重复性,并具有自动对焦设备和两级激光曝光系统,可最大程度地减少不同步骤中的迭加错误对齐。这样可以确保即使是最小、最精致的特征也能准确打印和对齐。晶圆步进器还包括一个图像校正单元,由于环境因素自动调整到图像中的任何位移。NSR-1505G6E每小时可处理100台以上,最多可处理6英寸晶圆。此外,步进器还配备了高精度级、4轴高精度电机以及内部PLC机,能够在多样的生产环境中进行可靠、准确的操作。NIKON NSR 1505 G6E能够处理各种模式,包括线条、对角线和模具标记。它还可以处理复杂的光学特性如透明介电膜、纳米图像和气孔沟槽图样。步进器具有许多安全功能,包括允许从任何异常情况中自动恢复的恢复工具,以及用于确保清洁和安全生产过程的除尘资产。NIKON NSR-1505G6E是一种坚固可靠的步进器,设计用于在处理晶片时提供精确的工作。其SHMR技术为尖端半导体生产提供了高精度和灵活性,确保了可靠高效的生产过程。
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