二手 NIKON NSR 1505 G6E #9227620 待售

NIKON NSR 1505 G6E是一种用于半导体器件的临界尺寸（CD）和迭加计量器件,旨在为单型和多型晶片步进器操作提供高精度结果。它能够与各种成像基板一起操作，包括石英、熔融二氧化硅、CaF2等，设计用于微电子的各种后端和前端器件构造应用。NIKON NSR-1505G6E Wafer Stepper配备了5KW二氧化碳（CO2）激光器和集成的垂直扫描轴。它能够产生高达0.2 µm的分辨率，并提供高达24-150mm/s的步进操作速度。其主要步进操作参数包括焦点偏移、相移、扫描重复、扫描大小和扫描方向。NSR 1505 G6E集成了多探测器优化和配置系统,具有多种专用探测器和光学设备,以及各种工具和图像处理系统。其焦点监视器可以检测每次曝光时焦点位置的变化，使设备达到高精度和精确度。它进一步配备了多项软件和硬件增强功能，如其抗结构失真和焦点控制功能。NSR-1505G6E利用各种成像模式,如自上而下（L&L）、去条纹、多镜头和缝合,为各种应用提供最佳成像效果。它能够同时处理多达12个块，并且能够在单个曝光中在单个晶片中曝光多种模式。它还配备了集成的晶圆处理系统和自动化的装卸功能，以方便更快的处理周期。NIKON NSR 1505 G6E适用于基板平整度检测、CD测量、抗轮廓监控、图像增强和螺纹处理。它是Wafer Stepper系统系列的一部分,与NSR-1505模式发生器配合使用,用于电气Wafer Level Compliance测试。它得到了NIKON全面支持和服务网络的支持,为其客户提供了一个符合最高精度和性能标准的可靠系统。