二手 NIKON NSR 1505 G6E #9233490 待售

NIKON NSR 1505 G6E是一种用于半导体批量生产的高性能晶圆步进设备。它能够成像尺寸高达8英寸的晶片,并具有4倍的减少率,最大图像场尺寸为532mm x 603mm。这种步进器配备了深紫外线水星灯，允许使用基于HeNe激光的对准系统在晶圆表面上均匀照明。它还具有0.5 μ m或0.25 μ m分辨率的高级光学单元。该机器还具有用于在成像过程中将晶片牢固夹紧到位的ElectroStatic Chuck （ESC）和Step and Scan Longer Exposure （SSLE）功能,该功能允许在晶片的整个表面均匀曝光。NIKON NSR-1505G6E还被设计成对大量晶片成像极为高效和高效。该工具具有自动晶片处理资产,它使用晶片载体、机械臂和传送带在测量站、装卸站和成像站之间快速移动晶片。此外，步进器还包括配方管理模型，它允许用户快速调整每个单独晶片的过程设置，确保每个成像过程获得最佳效果。该设备还具有内置的自动校准功能,可在最短的设置时间内实现高精度的成像。NSR 1505 G6E专为满足半导体制造工艺的苛刻要求而设计,例如光刻。它还被设计为高度可靠，平均故障间隔时间（MTBF）超过50万小时。NSR-1505G6E符合SEMI E-53和GEM（全球设备监测）标准,这意味着所有必要的数据都可以轻松地从系统中获取,而不会费力。最后,此步进单元还符合欧盟RoHS法规,这意味着它被证明对环境的影响最小。