二手 NIKON NSR 1505 G6E #9245623 待售
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NIKON NSR 1505 G6E是一种最先进的晶圆步进器，设计用于半导体及相关行业的基板精密加工。该设备的先进技术通过基于NSR的NIKON Heavy Nano Control II平台的刚性工作区实现了高吞吐量和均匀性。通过该机的高精度6轴运动控制系统和超高精度直驱电机单元,使基板以超高分辨率和无缺陷的可重复性曝光。该机的高分辨率、高精度和高动态定位机使基板的加工能力降至5nm。该工具采用热稳定级设计,其3轴温度补偿范围为0-60°C,针对超高精度的阵列设计任务进行了优化。集成的垂直/横向定位器还可实现交错多边形角的精确曝光和x-y调制，确保重迭图样的高精度和优越的重复性。此外,NIKON NSR-1505G6E的自动场对准和跳跃校正循环具有业界领先的对准精度,可实现精确的对准和消除失真误差。机器先进的对准精度也有助于提高缺陷检测和粒子识别。NSR 1505 G6E包括广泛的过程功能,包括高级载波和舞台对齐功能、可变形状的精确和可重复模式、闪光和变暗以及镜像和阵列功能。其他功能包括全自动连接和操作、环境控制（如灰尘和ESD保护）,以及内置的清洁资产。NSR-1505G6E晶片步进器是一种通用且高度灵活的模型,提供卓越的性能和精确度。它具有高精度和可靠的处理能力,是任何规模的制造商的重要工具,提供高吞吐量和高质量的生产。
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