二手 NIKON NSR 1505 G6E #9261837 待售

NIKON NSR 1505 G6E是一种全自动晶圆步进器，专为大体积晶圆光掩模生产而设计。它提供了高级扫描精度和吞吐量,同时减少了零件转换时间。NIKON NSR-1505G6E具有6级单片加载设备，能够高效生产高精度的细纹晶片。NSR 1505 G6E设计用于处理2、6、8、12和15英寸晶圆,最大k1线性度为0.5%或更高。最大曝光波长为193 nm，聚焦调节小于2.5 μ m。其外部光学系统提供了更好的吞吐量和精密图样。它还提供了一个子光束写入单元（SBS），用于在5纳米或以上范围内对高性能的标线进行精细图案化。NSR-1505G6E具有多项功能,可确保可靠的操作和过程优化。它的板载字母数字显示为用户提供了访问机器设置的权限,并提供了机器诊断和性能参数的可视化指示。其先进的数字控制软件可确保最佳的吞吐量,即使在最困难的过程中也是如此。它还有一个自成一体的自动校准工具，只需要设置一次，即可即时召回。NIKON NSR 1505 G6E的高精确度和稳定的阶段以高精度提供始终如一的高质量零件生产,从而提高产量和生产率。其自动晶片对齐器补偿晶片卡盘位移误差，最大限度地减少了手动重新对齐的需要。NIKON NSR-1505G6E配备了多种额外功能，以在操作过程中提供最大的稳定性，使部件转换变得容易。它具有可容纳各种部件的自动卡盘资产-减少了由于手动部件传输而导致的非生产性时间。它还具有双级曝光以减少对齐溷沌操作-以及多级曝光以方便大量零件。NSR 1505 G6E是一种高效可靠的晶圆步进器,旨在提供高精度结果。其先进的功能保证了精确的扫描精度和减少生产时间。NSR-1505G6E具有强大的设计和易于使用的界面,为大容量晶圆光掩模的生产提供了理想的解决方桉。