二手 NIKON NSR 1505 G6E #9299963 待售

NIKON NSR 1505 G6E是NIKON的顶级晶圆步进器，专为最先进的光刻工艺而设计。此步进器具有高分辨率和小聚焦点尺寸,非常适合制造高密度器件和高宽高比结构。它配备了专用的野外镜头，允许增加曝光精度。它能够将任何尺寸的晶片曝光至8英寸,最大扫描速度为1000 mm/s。NIKON NSR-1505G6E由NIKON第五代步进平台提供动力，为用户提供多项功能。这包括内置智能步进技术，它在晶圆检测、对准、曝光、舞台移动、晶圆处理和边缘位置精度控制等阶段提供灵活性和优异性能。步进器也是完全自动化的，允许广泛的过程参数易于编程。NSR 1505 G6E还采用了NIKON独一无二的自适应聚焦调整技术，可以将注意力集中在飞到纳米级。这样可以确保晶片上所暴露的最佳特征的图像保持清晰和准确。强大的扫描放大功能使扫描速度提高了一倍,同时又不影响精细的图像形成。此功能在处理高分辨率图像时特别有用。NSR-1505G6E是为最大的正常运行时间和可靠性而设计的。它的模块化设计和低维护功能使其能够轻松定制和扩展其功能。其关键组件易于访问,可用于快速维护和服务。此外，由于步进器的内部过滤器和强制气流系统，步进器可以防止灰尘。NIKON NSR 1505 G6E是制造高长宽比高密度器件或结构的绝佳选择。其高精度的光学系统和高分辨率确保所有细腻的特征都能轻易暴露在晶片上。其强大的特性，如直观步进技术和自适应对焦调节技术，使得尼康NSR-1505G6E一个巨大的投资，任何光刻应用。