二手 NIKON NSR 1505 G6E #9299964 待售

NIKON NSR 1505 G6E Wafer Stepper是一种非常先进的晶圆步进工具,提供卓越的光掩模处理功能。它是精密临界半导体制造工艺的理想选择，在这种工艺中，更高的生产率和表面均匀性是必不可少的。NIKON NSR-1505G6E是一种先进的晶圆步进器，旨在帮助改善半导体制造过程的气氛。它旨在提供卓越的晶片掩模配准精度和平滑度，具有优异的性能和可重复性。它提供了一个光学狭缝扫描设备，这有助于减少污染颗粒和提供清晰或无缺陷的图像。这种晶圆步进器能够以高达15K Hz的高频达每小时200晶圆（wph）的吞吐量，使晶圆步进操作快速。它有一个曝光系统，提供了450mm x 450mm的最大图像尺寸，使它能够覆盖和蚀刻大基板以卓越的精度。NSR 1505 G6E还具有独立的多层图样设计和自动步进技术,可确保可靠的图像质量和图像配准精度。此外,该工具还提供高级流程功能,如阵列对齐、轮廓和自动边缘功能。这些功能允许对不同的光掩码级别进行有效的图样绘制和蚀刻。该工具还设计有一个强大的冷却装置，在长曝光周期内提供稳定的工作温度。此外，它还配备了自动对准检视器和可编程边缘对准管理机器，确保了生产过程中的精度和良好的边缘质量。NSR-1505G6E非常适合精确应用,例如IC、DRAM和LCD的制造。它具有用户友好的界面，并提供卓越的准确性和平顺性。它采用6斜面扫描技术，处理各种晶圆形状，如正方形、椭圆形或圆形基板。总体而言,NIKON NSR 1505 G6E Wafer Stepper是一种非常先进的工具,可帮助改善精密半导体制造工艺的气氛。它是高精度光掩模蚀刻应用的可靠选择。它旨在帮助提高吞吐量、提高表面质量,并提供可重复、无缺陷的图像。