二手 NIKON NSR 1505 G7 #9067646 待售

NIKON NSR 1505 G7
ID: 9067646
Wafer stepper.
NIKON NSR 1505 G7是一种先进的晶片步进器,旨在在薄晶片上快速产生高度精确的微电子。NIKON NSR 1505G7的标线尺寸为7英寸,亚微米分辨率为50 nm,最大扫描速度为320 mm/s。它具有最大的步长和0.1 μ m的重复性,非常适合在具有复杂结构的高切口或基板上制作精细图桉。步进器还提供从4到10 μJ/cm2的各种暴露水平。NSR 1505 G7利用先进的平滑过程照明控制(SIC-IC)设备提供高分辨率、高通量的成像。SIC-IC系统使用具有4x4照明设计的可变强度激光光源和衍射受限光学器件提供均匀成像,可用于减少光阻遮罩污染、污染、涂抹、遮蔽。NSR 1505G7还配备了一个高度可靠和坚固的双光束曝光单元,能够实现高速高分辨率成像。曝光机使用四束激光束并联对准和曝光多个晶片,从而允许更快的循环时间和提高的处理精度。该步进器还具有薄膜晶体管(TFT)栅极级光刻技术,非常适合微细电路的微细加工。它具有多分割成像(MSI)功能,可实现高长宽比特性,也可实现高精度的亚微米图样。NIKON NSR 1505 G7还兼具暗场和明场成像能力,使其适用于低温多晶硅(LTPS)或光导多晶硅(PCPS)工艺等应用。步进器还配备了易于操作的工具,需要最少的用户输入,并提供直观的用户界面。这使得操作员能够快速设置和操作步进器,并以最小的压力和溷淆。此外,步进器还配备了多种安全功能,以保护用户免受激光光源或标线的意外曝光。总体而言,NIKON NSR 1505G7是一种先进的晶圆步进器,可用于生产高通量的高精密微电子。它能够实现具有暗场和明场成像的高分辨率成像,并提供精确的晶圆图样和对准其双光束曝光资产。它还配备了多种安全功能,可以在用户输入极少的情况下快速轻松地操作。
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