二手 NIKON NSR 1505 G7A #9160455 待售

NIKON NSR 1505 G7A Wafer Stepper是一种先进的成像工具，用于生产半导体和其他电子元件的光掩模基板。这种工具提供了一种高精度的光学成像设备，利用深紫外线（DUV）波长光来精确和一致地定义铭文在基板上的模式。NSR 1505 G7A的最大图像场为150 mm x 150 mm,具有Vycor增强光学系统,利用轴对称数值孔径（NA）为0.68。这种高性能单元可以精确对准最多六个投影镜头，以获得最大的视野。此外，NIKON NSR 1505 G7A可以产生高达2.4 μ m（0.096 mils）的最大分辨率，深紫外线波长为248nm。NSR 1505 G7A的主要特点是其DoF工程、阶梯式玻璃变焦镜头和QV半导体材料。DoF工程提供均匀的景深,高斯强度分布从0.2微米到40微米,而阶梯式玻璃变焦透镜可以减少失真,并在多个放大倍数下精确查看特征。QV半导体材料具有可靠的蚀刻沉积性能，具有良好的附着力和长期稳定性。该工具具有三板图像场稳定（TP-IFS）平台,可确保曝光期间图像场的最小漂移。这有助于确保所产生的图样与每次曝光相同。NIKON NSR 1505 G7A还有一个集成的晶片级对齐机，可以对预处理过的基板进行精确对齐，还有一个真空幻灯片级，提供可重复的晶片定心和提高生产率。该工具包括一个自动激光标记，以确保在暴露的晶片上准确定位掩模。此外,该工具还具有高性能的曝光控制资产,可执行多达八个作业设置,并一次曝光多个芯片。最后,NSR 1505 G7A Wafer Stepper与智能柔性磁盘处理程序集成在一起,可捕获多达50个磁盘并自主执行检查。这确保了批量生产的最佳质量和性能。