二手 NIKON NSR 1505 G7D #9045469 待售

NIKON NSR 1505 G7D Wafer Stepper是为各种应用需求而设计的精密光刻设备。它能够在先进的半导体封装和制造中进行能够满足严格产量要求的批量生产光刻工艺。NSR 1505 G7D是一种高精度、高通量的光刻系统,提供卓越的吞吐量、吞吐量稳定性和同类产品中可用的最高分辨率。它还旨在确保均匀稳定的曝光剂量，让客户生产出质量最高的半导体器件。该单元还结合了多项先进功能，如三个维度的自动基板对准、水平和垂直曝光操作的不平等曝光控制、自动基板压痕和灰尘检查以及各种基板处理选项。NIKON NSR 1505 G7D使用5微米狭缝，其激光二极管可产生超过200 mW/cm2最大输出的辐射。它提供365至445nm的宽波长范围，最长曝光时间为5 μ毫秒。它可以达到18 μ m的最小焦点，以及在较宽温度范围内的亚微米焦点。NSR 1505 G7D使用直接投影步进器，支持直径达200毫米的晶圆。它还能够处理多种基板，包括绝缘体上硅和薄膜箔。此外，它还可与光刻胶等材料配合使用，成为先进半导体光刻的理想选择。在使用NIKON NSR 1505 G7D Wafer Stepper时，可以对扫描和聚焦参数进行编程，以处理大量具有高均匀性和屈服性的基板。此外，由于其内置的模式识别机和自动对焦功能，它还可以方便地对准和基板定心。最后,NSR 1505 G7D与口罩、印版和其他附件高度兼容。这确保了与现有光刻设备的轻松集成,并实现了不同应用之间的快速技术转让。