二手 NIKON NSR 1505 G7E #293589147 待售

NIKON NSR 1505 G7E是为高通量和高保真光刻而设计的晶圆步进器。它专为生产微型和纳米尺寸的微芯片而设计。机器的光源是提供高水平曝光强度的激光二极管阵列。曝光面积为121mm x 121mm，聚焦深度为0.75 μ m。机器的发动机是一个独特的伺服控制运动设备，提供平滑和精确的运动。光学系统也由这个伺服控制的运动单元供电，由两镜机组成，数值光圈（NA）为0.6，工作距离为3.6毫米。此工具能够持续监控和优化其性能,从而实现最高的准确度。NIKON NSR-1505G7E还具有舞台资产,X轴和Y轴的行程范围很大,最大行程速度为200毫米/秒。该级模型是为热机械稳定和限制空气湍流而设计的。该机提供手动自动对焦（MAF）设备,用于快速、精确的对焦设置。该系统具有较长的寿命,能够检测到表面平坦度,从而允许在晶圆上进行更平滑的移动。机器还包括一个大容量的装载机/卸载机单元，允许用户在一次操作中装卸晶圆，从而提高吞吐量。NSR-1505 G7E还包括一个大容量的晶圆盒式磁带。它与晶片ID管理机器链接,以允许晶片密钥输入和快速晶片插槽加载。总体而言,NSR 1505 G7E是用于高通量和高保真光刻的理想机器,提供快速的加载/卸载过程、高端光学和运动系统,并且使用寿命长。是纳米微芯片量产的理想选择。