二手 NIKON NSR 1505 G7E #293592861 待售

ID: 293592861
Stepper, parts machine.
NIKON NSR 1505 G7E是一种高级性能、双光束、全场步进器,与4英寸和8英寸晶圆扫描场完全集成。这种NIKON设备是一种特别经济高效的晶圆步进解决方桉。NIKON NSR-1505G7E向世界先进光刻技术介绍了一系列技术进步。它包含先进的纳米光刻元件,并使用高数值孔径(NA)光学器件,以获得更高的曝光精度和更宽的工艺窗口。即使具有高放大倍率和广泛的工艺窗口,它也能提供高分辨率和曝光精度。NSR-1505 G7E的高性能曝光光学包括先进的光学系统、弹性体光学元件和高NA投影透镜。先进的光学单元提供高精度成像,在广泛的曝光场上稳定。这种先进的光学机器被设计为实现高对准精度和高光刻曝光精度的大曝光领域。NSR 1505 G7E采用单一晶片对准工具(SWAS),可快速、精确地对准光刻光栅。SWAS使用先进的串联传感器和光学器件,在不进行任何机械移动的情况下,快速准确地测量曝光场的对准。该资产允许将高分辨率航空图像与曝光拓扑和曝光布局相结合。NSR-1505G7E还具有大直径晶片级,允许处理直径不超过8英寸的晶片。该模型具有先进的晶圆处理机制,可实现精确和精确的级移动,为生产自动化提供更低的开销。独特的是,NIKON NSR-1505 G7E提供了一种高生产率模式,通过其高速光刻生产实现了高吞吐量。它还提供了低功耗模式,使其能够在较低的功耗水平下运行,同时仍能产生高吞吐量。此外,NIKON NSR 1505 G7E还提供先进的内置安全功能和自动晶圆处理功能,从而实现高效的光刻生产。NIKON NSR-1505G7E具有可容许位置的书写模式,能够产生具有较高处理视窗辨别(PWD)品质的进阶模式形状。它还具有高精度脉冲成形体系结构(PSA),可实现更高精度的曝光。最后,NSR-1505 G7E有许多兼容的附件,包括高级光刻工艺序列编辑器和专门的相关软件开发工具包(SDK)。总之,NSR 1505 G7E是一种先进且功能强大的晶片步进解决方桉。它具有先进的纳米光刻元件、高分辨率光学、高精度成像、大直径晶片级、SWAS对准设备、高速光刻生产模式、低功耗、先进的安全特性以及专门的SDK。这些元素的组合使NSR-1505G7E成为一个极好且经济高效的晶圆步进解决方桉。
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