二手 NIKON NSR 1505 G7E #293637485 待售

NIKON NSR 1505 G7E是一种专业级晶圆步进器，用于制造精密半导体器件。该步进器能够在不损坏电路组件的情况下对任何材料的尽可能小的结构进行阵列设计。它能够在直径可达150毫米的晶片上产生极精确的图样，原始步长分辨率为±（5 µm），覆盖精度为±（2.5 µm）。NIKON NSR-1505G7E采用独特的双柱设计，将两根86mm柱合并成一个更大、更坚固的结构。这种柱式布置确保了阵列制作过程的每个步骤都更稳定、更准确、更无变形。步进器还配备了改进的激光脉冲校正设备，有助于在不同厚度的基板上提供精确的图样。NSR-1505 G7E具有高分辨率扫描系统,可支持多达8个巨型像素成像。这个单元提供非常高的像素分辨率，在每个晶圆上高达120,000个图样/毫米（方形间距）。这台扫描机配有改进的二维级扫描仪，提供卓越的运动性能，减少脉动不规则。NIKON NSR-1505 G7E的标线扫描仪采用自动位置识别和改进的分镜式自动跟踪工具。这两个特性的结合提供了整个晶圆表面快速准确的对准测量。先进的晶圆装载机资产有助于轻松地提供和管理频繁的晶圆更改。NSR 1505 G7E还提供了许多高级流程控制。具有精确控制暴露剂量、晶片级温度和湿度以及工作温度的能力。此外，步进器还能控制焦点和光束倾斜，使制图过程更加精确可靠。NSR-1505G7E是任何苛刻的高通量半导体生产环境的理想选择。它能够可靠地、准确地处理高级流程,是任何需要顶级性能的操作的重要补充。