二手 NIKON NSR 1505 G7E #293665026 待售

NIKON NSR 1505 G7E Wafer Stepper是一种先进的光刻工具,旨在降低成本和提高半导体制造的吞吐量。它是一种光学成像设备，设计用于对准、光刻和工艺计量应用。该工具具有0.75的备受赞誉的高性能数值孔径（NA）-分辨率高达90nm,是业界最高的。该系统旨在满足注册关键型应用程序中要求苛刻的标线对齐和覆盖精度要求。NIKON NSR-1505G7E Wafer Stepper的先进设计能够提供一致的光学成像性能和卓越的整体精度。该单元采用具有高速步进定心能力的直驱、低惯性扫描仪和由可旋转镜框、折射镜片、高效准分子激光组成的光机，提供较长的分选性能寿命、较高的均匀性、较低的对准误差。NIKON 1505 G7E Wafer Stepper具有全自动DOF和高精度配准工具,可确保最小的芯片高度变化。还包括一个SEMI-stANDIZED透镜涂层资产，以解决模式收缩问题。该模型包含一个内置的设备测试模式，用于检测和校正辐照中潜在的不均匀性。它还具有尖端的高速镜面驱动系统,可实现最高精度的对准和成像。NSR-1505 G7E晶圆步进器兼容多种图像格式,包括45度、90度、180度、尖端/倾斜或倾斜/旋转对称和六边形/正方形反转。它还具有内置的阵列编辑器,使用户能够创建用于精确阵列和成像的自定义设计。该单元还包含一个高效的焦点检查处理器,用于测量用户定义站点的焦点敏感性。此外,该工具还配备了一个创新的热管理机器,用于控制现场失真和/或非均匀性。NSR-1505G7E Wafer Stepper是一种易于使用的高性能成像工具,它简化了光刻工艺并提高了精度。该资产被设计为与广泛的底物一起工作，包括石英、硅、二氧化硅、砷化氙等等。此外，该模型几乎完全符合任何流程的概念，并且完全可以根据流程和流程模块的具体需求进行定制。