二手 NIKON NSR 1505 G7E #293717121 待售

NIKON NSR 1505 G7E是一种5轴晶圆步进器，设计用于大容量晶圆处理安装。NIKON NSR-1505G7E设计为提供坚固和高精度的光刻技术,即使在最具挑战性的生产环境中也能产生可靠的结果。该产品采用150 mm × 150 mm的车架尺寸和40 mm的XYZ行进和5轴运动设计。步进器配备了NIKON原始的5轴技术，允许3-D成像，提高了精度和吞吐量。NSR-1505 G7E还具有快速曝光激光器，可提供从25˚C到+50˚C的扩展工作温度范围。步进器有一个高频照明设备，其设计使用高精度元件在整个晶圆表面产生均匀的照明。该系统提供了五个轴之间的可调能量分布。NIKON NSR-1505 G7E还具有自动晶圆位置控制单元,以确保基板对齐一致且可重复。步进器配备了8英寸接触图像传感器（CIS），可以检测和测量晶圆上单个图像的高度偏差。这确保了满足0.2微米线宽和接触模式要求的最高精度。可选择高精度放大训练机，进一步提高精度，减少线宽变化。NSR 1505 G7E提供静音操作，无振动运动工具，自动对准晶片边缘，以及出色的剂量控制。步进器的设计支持范围广泛的晶圆尺寸和类型，以及种类繁多的辐射源，包括ArF激光、UV LED和UV激光器。此外,步进器还具有用户友好的高级控制软件,可提供稳定性和准确性操作,从而提高生产效率并提高成本效益。操作数据易于访问,并且自动操作可以从运行到运行以相同的结果重现。总体而言，NSR-1505G7E是大体积半导体织物的完美光刻解决方桉。先进的特性使其成为行业中最可靠、生产力最高的晶圆步进器之一。