二手 NIKON NSR 1505 G7E #9195757 待售

NIKON NSR 1505 G7E晶圆步进器是一种用于处理半导体集成电路的高端、精确曝光设备。它专为量产而设计，能够进行快速、精确的晶圆曝光，具有高度可靠的双光束系统。该G7E的分辨率为0.5 µm,当与超过180 mm的放大倍率一起使用时,可提供13倍的降低。这使得它非常适合现代生产节点上的精细阵列。它配备了一个模具到模具分辨率剖面监视器，可以准确地测量每次拍摄前后的暴露剂量，以确保适当的暴露。该G7E还具有高速分层模式，允许快速晶圆处理。该单元带有各种镜头偏移和磁场。这确保了低到中等水平的模式，甚至在整个晶圆区域内的高度精确的曝光。该G7E提供长距离曝光模式,允许长距离曝光,光学像差校正机（OACS）可确保最高精度。此外,该工具的光学元件采用内置校准机构进行设计,使维护人员能够快速执行校准检查和调整。该G7E包括一个全自动视觉资产，允许全面晶圆检查和缺陷检测。此外,该模型还配备了周期时间优化设备,减少了操作过程中的任何停机时间,以及用于监控晶圆厚度和尺寸的串联晶圆计量系统。该G7E具有易于使用的用户界面,为帮助加快爬升周期,它提供了一个集成的序列转换单元,可自动将设计数据转换为适合生产的格式。此外，它还配备了即时反馈机，提供有关曝光窗口进度的实时信息。尼康NSR-1505G7E晶片步进器是当今市场上最先进、最精确的曝光系统之一。凭借其高精度光学、内置校准机构和直观的用户界面，该工具为晶圆处理需求提供了绝佳的解决方桉。