二手 NIKON NSR 1505 G7E #9261836 待售

NIKON NSR 1505 G7E是一种高端晶圆步进器，用于多种光刻应用，包括半导体器件生产、OLED器件结构制造、印记光刻。这种晶片步进器的设计提供了极好的对准精度和重复性，使精确晶片定位和精确的图样能力。NIKON NSR-1505G7E配备了全场二极管激光对准设备，以提高曝光膜对准的精度。这种晶片步进器的紧凑设计为光刻生产提供了一个紧凑高效的平台，每小时处理多达150个晶片的能力确保了高吞吐量和快速的生产时间。NSR-1505 G7E具有5轴电动级,可同时容纳150个晶圆。这种5轴系统包括电动线性和旋转级，在X、Y和R轴上的最大级行程为100 mm。此外,在X和Y轴上,横向级行程可达200毫米。集成的光学单元允许将每个曝光点高精度地放置在聚焦平面上。光学机器还使用户能够调整曝光的位置、放大倍数以及每次曝光的场径。此外,NIKON NSR-1505 G7E提供1或5 um的可选分辨率,使用户可以在对准精度较高或曝光精度较高之间进行选择。NSR 1505 G7E还具有集成的背面照明工具和自动背面凹痕检测功能。此背面照明资产在胶片曝光期间提供了更高的对比度,并允许用户查看和检查可能存在的任何背面特征。自动背面凹痕检测模型能够检测可能影响曝光质量的任何背面凹痕或缺陷。NSR-1505G7E还具有专利的超低惯性环境隔离结构，可用于晶圆步进器的优越操作。这种结构设计用来悬挂光学设备，从而消除来自环境的任何振动或冲击的影响。此外,NIKON NSR 1505 G7E能够进行晶圆级、芯片级和亚微米级的曝光,从而在光刻生产中获得最大的灵活性。这种经济高效、高性能的晶圆步进器是任何光刻生产需要的理想选择。NIKON NSR-1505G7E能够为各种芯片结构提供高精度曝光,并且每次都能持续提供优异的效果。这款晶片步进器脚印低,性能优异,是任何光刻生产的绝佳选择。