二手 NIKON NSR 1505 G7E #9386319 待售
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ID: 9386319
晶圆大小: 6"
优质的: 1990
Stepper, 6"
ASAHI S75 Chamber
Chamber temperature: 23°C
Fixed reticle microscope, 15mm
PDP-11/73 Computer
HP 5517A Laser
LSA Laser: 5 mW
ITV Camera
Wafer condition: Silicon
OF Detection
Wafer loader: Type 1
Wafer carrier table: Left / Right
Reticle, 5"
No lens data
Rack type: Right
Electric source: NEMA Box
CVCF
1/2 Switch
1990 vintage.
NIKON NSR 1505 G7E是来自NIKON的高性能晶圆步进器,为光刻应用提供了卓越的精度和吞吐量。它是同类产品中最先进的步进器,具有业界领先的± 4 µm的图样放置精度和± 10 nm的CD均匀性。它采用超色色差减少光学设备（CAROS）,提供卓越的成像质量和最高的模式保真度和可重复性。NIKON NSR-1505G7E具有高达250 W的光源、多重曝光模式和曝光能量7。它具有5.5英寸x 5.5英寸的大光学场和140 nm或以下的增强分辨率。步进器利用独特的RCAS（健壮的校正算法整形）光学系统进行优越的图样开发,其特点是镜片失真和投影精度差异较小,像差值大大降低。为了提高曝光精度,G7E提供了创新的"曝光比率监视器",它提供实时反馈,以保持最佳边缘振铃和失真特性。NSR-1505 G7E包括一个自动二色滤色器炮塔，它可以方便地改变光谱。它还配备了一个可简化场平整校正的自动对焦单元，以及支持高精度晶圆扫描的可变激光/场内平整/校正棒。"最佳适应原则"进一步提高了G7E的暴露精度，该原则提供了最佳的暴露能量设置和配方开发。NSR 1505 G7E的其他功能包括风冷焦平面快门、自动晶圆对准机、两级晶圆速度调整以匹配所需分辨率,以及提供更好数据管理和安全性的板载操作系统。通过提供卓越的成像和精度，G7E是晶圆步进技术的行业标准。它非常适合从无晶圆厂芯片制造到高端成像解决方桉的广泛应用，如MEMS、纳米光刻和微电子生产。
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