二手 NIKON NSR 1505 i10D #146913 待售

NIKON NSR 1505 i10D是一种用于半导体芯片生产的高精度、先进的晶圆步进器。它配备了尖端的光电回波技术，提供精确和吞吐量，以满足苛刻的、大容量的光刻需求。NSR 1505 i10D具有10nm激光阵列、1 nm覆盖精度和250 mm场面积。它能够快速、准确地暴露每晶圆1-3个图桉层，其1 mm C形台阶设计为减少台阶应力和振动诱导的图案放置误差。它还配备了高端单角照明系统，以实现卓越的照明均匀性，从而实现极其密集的图桉。NIKON NSR 1505 i10D的光电力学提供卓越的光刻性能。它具有专有的4微米压电驱动直线运动级，保证晶圆和级的同时运动具有很高的稳定性。此外,基于晶片级的方法将步进器的补偿范围扩展到250 μ m,并允许对局部和全局失真进行高效的即时补偿。此外，NIKON InCelli Transfer Technology提供非接触晶片传输，以减少步进器的足迹，而无需外部传输设备。宏预览功能在曝光前分析布局的主要特征并补偿全局模式失真,同时选择适当的焦点和迭加值以优化曝光策略。NSR 1505 i10D还配备了专门的照明头，旨在改进无粒子图样。这有助于减少无油粒子和光致抗蚀剂溷合造成的粒子，以及3束同时照射以提高旁通检查性能。它以一个全面的服务包为后盾,该服务包提供一流的工具可用性和高效的维护,并最大限度地减少中断时间。步进器的用户友好环境包括高端PASIV™图形用户界面和广泛的操作自定义可能性。总体而言,NIKON NSR 1505 i10D是用于半导体芯片生产的先进、高度精确的晶圆步进器,具有尖端的光电回波技术,可提供卓越的精度和吞吐量,满足苛刻的高容量光刻需求。