二手 NIKON NSR 1505 i6A #293817954 待售

NIKON NSR 1505 i6A是为光刻工艺设计的高性能、高精度晶圆步进器。它配备了数字伺服电机、闭环光学透镜设备和强大的持有者感应能力等诸多前沿特性。NSR 1505 i6A能够产生分辨率为1.3 μ m、最小缺失值为1.0 μ m的图像,全自动对准,同时能够精确重复预定的曝光剂量。NIKON NSR 1505 i6A的光学系统包括一个专利的大光圈、高数值光圈（NA）镜头单元，它装有数字伺服电机。Digital Servo电机使机器能够执行高精度的超灵敏操作，并达到最大速度、精度和分辨率。当需要精确重复曝光剂量时,NSR 1505 i6A的持有者感测能力也非常有用,因为该工具能够检测晶圆持有者表面水平的精确变化。NIKON NSR 1505 i6A能够产生高达1.3 μ m的高分辨率图像,具体取决于需要成像的特征。它还具有全自动对齐资产,它简化了对齐过程并使其更易于处理。该模型还提供了均匀的曝光剂量，保证了高光刻工艺稳定性。它可以容纳50至200毫米大小的各种晶片以及许多不同的光掩模尺寸。简而言之，NSR 1505 i6A是为高精度光刻工艺设计的精密晶圆步进器。其特点是配备了数字伺服电机的高NA镜头设备、持有人感应能力和全自动对准系统，以实现精确的剂量可重复性。NIKON NSR 1505 i6A可容纳各种晶片,使其能够产生尺寸达到1.3 μ m且曝光剂量均匀的高分辨率图像。NSR 1505的许多功能i6A使其成为最高精度光刻工艺的首选工具。