二手 NIKON NSR 1505 i6A #9281881 待售

NIKON NSR 1505 i6A是为高级光刻应用而设计的晶圆步进器。它是一种超紧凑的光线跟踪光刻系统，能够产生最大场大小为150毫米的高分辨率图样。NSR 1505 i6A的集成KrF （Krypton Fluoride）准分子激光光源可实现200 nm以下分辨率。它与KrF和ArF（Argon Fluoride）激光器的兼容性使得设备生产成本低，而其创新的I线聚焦多重照明则提供了增强的特征精度和分辨率。NIKON NSR 1505 i6A通过1024 ch数字编码器、高精度对准和高级无标线可编程级的组合,提供简单精确的对准和曝光。它配备了图像对识别系统，使其能够精确对准材料，从而无需视觉系统。此外,其400mm/s的最大阶段扫描速度显着减少了曝光时间。此外，NSR 1505 i6A还配备了两个完全可定制的软件包。自动步进控制器（ASTC）允许实时曝光控制，而自动光刻协调员（ALC）则允许多模具阵列和工艺参数优化。其用户友好的图形用户界面使操作快速而简单，而内置的无忧线延迟补偿则确保了尽可能高的硬件精度。此外,NIKON NSR 1505 i6A能够通过外部安装的连接器升级其功能,从而允许用户使用其他组件自定义其系统。这有助于提高高效的生产效率,而不必打破银行体系。其高水平的可操作性、对晶片的轻柔处理以及优化的晶片对准，保证了多年的可靠高效运行。因此,NSR 1505 i6A是先进、经济高效的光刻技术的绝佳选择。