二手 NIKON NSR 1505 i7A #293634869 待售
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ID: 293634869
晶圆大小: 4"
i-Line stepper, 4"
Non-funtional parts:
Circuit boards: A-5, A-9, A-13, A-17, A-19, A-23, A-34, A-35
(3) Motor modules RT
Z/Theta stage motor module
Stage screw
X-Y Axis motor
Mercury lamp base
Power supply of each module
Wafer and reticle handler of module motor
FIA.
NIKON NSR 1505 i7A是为满足最苛刻的光刻要求而设计的前沿深紫外线晶片步进设备。它提供了卓越的覆盖精度、广泛的曝光工具以及处理直径不超过7英寸的晶片的能力。NIKON NSR-1505I7A利用一种强大的数字控制5mW I-Lin ArF激光器，能够使用各种曝光剂量。该系统配备了一个集成的近场校正器（NFCs）摄影还原单元，通过为非正交畸变提供先进的扫描场平整功能，提供了卓越的性能和准确性。这得益于创新的平面波照明机，它提供了卓越的均匀性、减少的像差和高分辨率。此外,NSR 1505 I7A还配备了高容量对准工具,可为所有曝光条件和应用提供卓越的对准精度。对齐资产包括一个高分辨率的Sub-Micron平台，以及一个正在申请专利的自动选择性标线对齐（ASRA）模型。ASRA设备还提供高级迭加测量,以确保每个样品都精确对齐。NSR 1505 I 7A的曝光系统也可以配置为处理不同尺寸、厚度和曝光要求的晶片。这是使用正在申请专利的Variable Tuning Option完成的,该选项可以快速设置,并针对每个应用程序的特定需求进行定制。此外，NIKON NSR 1505 I7A还配备了广泛的合规性和暴露测试。这包括能够执行高精度的迭加测量、曝光验证测试以及广泛选择的晶圆曝光均匀性测试。总之，NSR-1505I7A是一个优越的晶片步进单元，具有广泛的曝光工具，并能够处理晶片到7英寸大小。NSR 1505具有先进的曝光机、NFC摄影还原工具、正在申请专利的可变调谐选项、迭加测量、曝光验证测试以及广泛的晶圆曝光均匀性测试,是许多要求苛刻的光刻应用的理想成像资产i7A
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