二手 NIKON NSR 1505 i7A #9226269 待售

NIKON NSR 1505 i7A Wafer Stepper是NIKON Corporation的一种高性能光刻工具，适用于广泛的微加工工艺。NIKON NSR-1505I7A建立在NIKON NSR系列光刻工具的遗产基础上,为整个基板的图样传输提供了卓越的精度。步进器设有两个独立的曝光室，每一个都可以用来处理8英寸的晶圆。这使得它成为需要精确控制和最高工作效率的应用程序的理想选择。该设备可用于生产各种芯片和晶片图样，其柔性照明系统允许图样可重复性和步进扫描操作。除了晶圆处理功能外,NSR 1505 I7A还提供卓越的控制和检测功能。其先进的对准单元利用活动目标检测器和参考目标检测器，以确保最大精度的模式传输精度。它还提供了一个精确的聚焦检测机，以确保基板保持在最佳聚焦范围内。集成孔径工具允许对曝光场大小和形状进行精细调整。NSR 1505 i7A能够产生特征尺寸低至0.3微米的图样，在1微米线和空间区域内的总体图样精度为0.1微米。对于更高的精度和吞吐量，资产有一个内置的迭加分析算法。这一特性使得快速评估和调整模式传输过程的质量成为可能，从而节省了生产周期中的时间和资源。在安全性方面，步进器按照OHSAS 18001和ISO14001标准设计。它具有高效率的冷却模型，以保护暴露的元件免受高温处理。还内置了紧急停止按钮，以确保用户的最大安全。最后，NSR 1505 I7A晶圆步进器是一种适用于各种微加工工艺的高性能光刻工具。它提供精确的控制、精度和速度,使其成为各种生产和工程应用的理想选择。它提供了高度的安全和保护，使其成为适合任何生产环境的选择。