二手 NIKON NSR 1505 i7A #9226270 待售

NIKON NSR 1505 i7A是一种先进的晶圆步进器,它允许在制造各种微型设备时使用一种非常精确、经济高效的解决方桉来制作光掩模。这台机器设计用于生产和检查小至190 nm管线/空间的设备。它提供了与OpenValuePhotomask （OVP）软件兼容的集成设备,提供了易于使用的自动化平台和高效的设置过程。NIKON NSR-1505I7A是一个5轴、平行光束、照明蒙版扫描系统，利用高分辨率投影透镜将图像聚焦到蒙版或晶片上。它在x轴和y轴方向上提供40 mm的字段大小,可用于100 nm以下的阵列。粘合选项允许降低蒙版生产成本,从而使机器成为大批量生产的理想选择。NSR 1505 I7A允许双面曝光,两侧均具有独立的曝光头。一个可调的热控制单元确保精确的过程温度，以更好的过程控制。内置的对齐机可实现精确的迭加分析，允许在晶圆上精确放置不同的图样。该机还提供自动掩模传输和晶片传输等功能,以及自动晶片卡盘定位机构,可实现精确、快速的晶片定心。此外,NIKON NSR 1505 I7A具有高分辨率测量功能,能够识别小至70 nm的掩模特征。该i7A配有三维自动对焦工具，可以精确对准掩模和晶片，提高晶片对晶片的均匀性。归根结底,NSR-1505I7A是一个功能强大、准确且可扩展的晶圆步进器,旨在提供经济高效的生产过程,并取得优异的效果。利用先进的自动化能力和高能力的光学资产，这台机器是先进的掩模制造和检验的绝佳解决方桉。