二手 NIKON NSR 1505 i7A #9226271 待售

NIKON NSR 1505 i7A
ID: 9226271
晶圆大小: 6"
优质的: 1990
Stepper, 6" 1990 vintage.
NIKON NSR 1505 i7A是一种先进的晶圆步进器,用于需要高精度和精确度的先进半导体生产。它有一个独特的动态扫描设备(DSS)和一个I线光学图样发生器,以允许高速,精确晶圆图样。NIKON NSR-1505I7A配备了高分辨率阴极射线管(CRT)以实现敏感图像输出。高分辨率步进镜头组件和2.4倍减速镜头可减少像差误差,同时提高精度和产量。NSR 1505 I7A由高速数字成像控制器控制,可实现比以往更高的精度和速度。NSR 1505 I 7A设计用于处理各种晶片,从2英寸、4英寸、6英寸和8英寸晶片,对基板装卸进行全自动处理。它能够使用i-Line、G-Line和I-Plus波长进行步进曝光,在4-6秒曝光时可产生8至10 mJ/cm2的曝光水平。手倾晶片级可以方便地进行模具对准和校正,以满足独特的晶片要求,如薄片或通硅通(TSV)。NSR-1505I7A具有优化的扫描速度,能够达到30 mm/sec的最大扫描速度。这样就提高了吞吐量,这对于大批量生产至关重要。这也减少了对额外设备的需求。此外,NIKON NSR 1505 I7A具有全面的自我诊断和晶圆跟踪功能,可持续监测整个系统。这有助于确保生产过程中的高水平设备性能和连续性。NIKON NSR 1505 I 7A还具有创新的用户界面,使操作员能够轻松访问所有机器功能。总体而言,NSR 1505 i7A是一种高级晶片步进器,具有一系列高性能特性,使其成为先进半导体生产的理想解决方桉。它的速度、准确性和多功能性都是使其能够产生可靠和高质量晶片的关键优点,而其直观的用户界面和全面的诊断有助于确保高水平的工具性能。
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