二手 NIKON NSR 1505 i7A #9226273 待售

NIKON NSR 1505 i7A是一种全自动晶片步进器，经过优化，可用于高分辨率光刻技术的超前微制造应用。此步进器设计精巧,性能卓越。NIKON NSR-1505I7A具有较大的工作区区域,最多可处理7英寸晶圆。利用其集成的成像技术和最先进的光学，这种步进器可以产生高场平坦度的高精度和一致的模式。它具有亚微米的模式精度，能够达到低至0.25 µm的分辨率。而凭借其较大的景深聚焦范围，可以产生高达5µm的特征。它还具有先进的镜头对准校准程序，允许每个曝光周期的最佳分辨率和图像位置。NSR 1505 I7A还具有用于控制晶圆的X、Y和Z轴的计算机控制级,以及用于定向晶圆的高精度旋转级。这个精密级具有350mm的延长行程距离，最大扫描速度高达350mm/s。此外,此步进器还包括一个精确的真空卡盘,用于在曝光期间保持晶片静止.NSR-1505I7A还具有板载处理基础架构,以减少设置和周期时间。它有一个具有两级旋转涂层和烘烤工艺的自动晶圆处理系统，以及一个自动化的物料传输系统来提高吞吐量。除了灵活性和准确性外，NSR 1505 I 7A也是一款环保步进器。它具有低功耗、低热量产生,并且可以在近乎静音的情况下运行,以便在实验室和清洁室环境中使用。凭借其先进的技术,NIKON NSR 1505 I7A提供了一种可靠、高效的光刻技术。