二手 NIKON NSR 1505 i7A #9226277 待售
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NIKON NSR 1505 i7A晶片步进器是一种精密的器件,设计用于绘制具有高分辨率和重复性的半导体晶片表面图案。它是一台综合性机器,能够将各种成像图样传输到晶圆表面。步进器以Nikons 7A i-line光学台为基础,利用数个成像透镜来产生低至25 nm的广泛影像解析度。晶片步进器能够处理300毫米(12英寸)的晶片,并且对于最高解析度的成像,在长曝光时间下效率很高。步进器还与各种基材和光阻材料兼容,使其适用于半导体行业内的多种用途。NIKON NSR-1505I7A晶圆步进器充满了特性。它支持用于单个和/或多个晶片的手动和夹具托盘,并具有可调的坚固性,可实现最佳成像处理。该机利用双轴同步电动级提供0.5 μ m增量XY级精度,具有较高的对准精度和可重复性。步进器除了具有冷却和加热能力外,还具有车载光学器件,用于检查晶圆地形,以确保最大产量。扫描仪允许以0.7秒的曝光时间进行19秒的视场,从而提高了模式传输要求。NSR 1505 I7A晶片步进器的设计考虑了安全性和可靠性.它具有"绿色"节能设计,比其他系统的功耗低75W。它还具有先进的空气过滤系统和电子控制系统,这两个系统都是经过验证的安全清单的一部分。为确保最大效率和性能,NIKON为NSR 1505 i7A晶圆步进器提供了服务和维护选项。如果使用得当,这台机器将在今后数年内提供准确、可靠和可重复的表面成像。
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