二手 NIKON NSR 1505 i7A #9299960 待售

NIKON NSR 1505 i7A晶片步进器是为半导体器件量产而设计的先进高精度光刻设备。NIKON NSR-1505I7A提供无与伦比的性能,非常适合中、低体积沉积光掩模和其他产品。它具有全自动、快速更换的装载机/卸载机,能够同时交换晶圆、掩模、板和基板。NSR 1505 I7A配备了NIKON最先进的CCD广域成像系统和先进的光学器件，用于晶圆和光掩模的精确光学对准。该成像系统可实现高分辨率成像,以极高的精确度解决非常小的设备特征大小问题。CCD成像系统由两套镜头和一台针对光刻优化的高分辨率CCD相机组成。CCD相机的最大成像面积为256mm x 256mm，支持所有标准的光掩模和晶圆尺寸。使用相机进行晶圆映射、边缘检测和对准,可以精确对准掩模和晶圆。该装置还配备了高性能的Chamber One抵抗取回机，旨在减少阻力去除时间，最大限度地减少阻力消耗。它包括一个高真空室、一级转移工具和一个高压二氧化碳射流资产，用于有效的抵抗去除。该模型还具有高精度的曝光设备,旨在在整个晶片表面提供高精度的抗蚀性曝光,并具有出色的均匀性。NIKON NSR 1505 I 7A还具有高精度的分级系统，支持晶圆和光掩模的平稳准确的放置和移动。该单元包括一个高速振动器和高分辨率执行器，用于晶圆和照片放置的精确调整。分级机还配备了可伸缩的晶片跟踪工具，可以调整以支持多个晶片，同时为关键操作启用手动去除晶片。NSR 1505 I 7A还配备了专门的检查和对准资产，可以检测缺陷并进行精确的对准和图像校正。该模型能够检测到小于2微米的粒子，并具有NIKON多步模式识别设备，以实现快速、精确的对准。该系统还支持晶片在沉积和曝光过程后对齐，以确保工艺的最高质量。NIKON NSR 1505 I7A是一种先进的高精度晶圆步进器，非常适合中小体积光刻操作。它为光掩模和晶片的生产提供了卓越的准确性和统一性，它的全自动交换单元和高性能的抵抗检索和检查系统能够实现高效和始终如一的高质量结果。