二手 NIKON NSR 1505 i7B #293748560 待售

NIKON NSR 1505 i7B Wafer Stepper是一种半自动光刻设备，设计用于精密蚀刻、曝光、成像和其他临界光刻步骤。其多功能性和鲁棒性设计非常适合半导体、光掩模和微流体器件制造应用。该系统提供了大量的精确阵列和成像功能。该设备采用大型V-Toen扫描仪,能够扫描最大6 x 6英寸（接触）的晶片。扫描仪提供了在各种方向上移动步进头的灵活性，包括半自主和自动操作模式。较大的格式还可以减少模具尺寸的变化，并在阵列制作过程中提供更高的精度。还包括一种先进的萤石透镜，用于最佳的低像差成像和减少有害干扰。NSR 1505 i7B Wafer Stepper提供了高分辨率阵列的卓越功能。其可扩展的光刻特性包括型式生成、模具尺寸优化、型式对准和放置，以及二次采样。该机还具有支持向量机（SVM）算法,用于改进流程配方优化和自动模式学习配置文件选择。该工具支持一套全面的光刻技术，如多曝光成像、直接成像、边缘曝光成像、亚半微米分辨率成像和柔性曝光剂量控制。NIKON NSR 1505 i7B还可以支持广泛的化学方法，如光刻胶显影剂和光活性敏化剂。该资产包括自动屏蔽功能,使用户无需模式文件即可快速生成模式。NSR 1505 i7B Wafer Stepper具有全自动的6轴电动级和自动化的In-Situ端点控制模型。该设备具有很高的可重复性，能够在各种基材和材料上实现出色的分辨率和减少颗粒污染。该系统还配备了一整套滑块、按钮和滚动器，为用户提供了对所有光刻参数的轻松访问。该设备由最新的NIKON Process TCAM软件包提供动力。这有助于在整个制造过程中确保出色的打印、精度和准确性。该软件包允许使用图形工具栏和自定义快捷键进行简单直观的操作。它还包括一个预先定义的配方和图桉发生器库，展示详尽的光刻和测量指令，并提供对最新参数和工艺设置的快速访问。总体而言,NIKON NSR 1505 i7B Wafer Stepper是一款先进、用户友好的光刻机,专为半导体、光掩模和微流体器件制造的高精度蚀刻、成像和图样设计。其强大的功能、可扩展性和自动化功能为各种应用程序提供了卓越的性能和成本效益。