二手 NIKON NSR 1755 G7A #293756625 待售
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NIKON NSR 1755 G7A为晶圆步进器应用提供了非常精确和灵活的解决方桉。这一技术产生了卓越的转移和暴露的均匀性与无与伦比的线变窄。此外,多个步进器配置提供了灵活性,使用户能够选择最合适的配置来满足其生产要求。NIKON NSR-1755G7A由一组光学元件组成，这些元件的排列可提供对掩模的精确图像采样。其部件包括照明设备、投影光学器件、成像盒和晶圆台。照明系统的设计利用了单位有限的数值孔径，产生了清晰的图像，在整个图像场上都有强烈的焦点。此照明功能可确保传输特征的质量不受影响。投影光学是为高放大倍率和陡峭的图像角度而设计的。这样可以确保高对比度图像和光刻层上的优越线变窄。此外，其自动聚焦和自动曝光控制机（AFXC）进一步提高了图像的清晰度和均匀性。由于其自动AFXC扫描模式，光学失真最小化，并确保曝光精度。NSR-1755 G7A的成像盒用作投影光学器件和晶圆表之间的机械接口。配备高精度横排导轨和高速伺服电机。这样可以确保晶片级在X和Y方向上的精确移动。最后，晶圆表允许简单更换板，以及与各种基板的兼容性。该表还设计为便于安装和维护，同时还减少了操作过程中的振动。这使得NSR 1755 G7A晶圆步进器应用的理想选择。总体而言，NSR-1755G7A是一种高度通用和精确的晶圆步进器。其设计最大限度地提高了吞吐量和产量，并实现了最高水平的准确性和统一性。它结合了强大的光学和精确运动系统，在各种步进应用中提供了优异的性能。
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