二手 NIKON NSR 1755 G7A #9159079 待售

NIKON NSR 1755 G7A是为高级光刻工艺设计的高精度晶圆步进器。它是一种全自动、单镜头、扫描仪式的投影设备,无需手动对准即可快速重复。该系统采用0.75-NA的深紫外光源进行经济高效的光刻，旨在先进生产65纳米。NIKON NSR-1755G7A投影单元包括三个主要组成部分：光学、照相机和光源。光学机融合了投影镜头和成像镜头两个镜头，使影像能够精确精确的聚焦，并使用Deep Ultra-Violet （DUV）照明来对晶片成像。摄像机将图像投射到4英寸的标线图像平面上，从而能够使用常规的4英寸的蒙版标线。NSR-1755 G7A晶片步进器的照明工具是一个可变数值孔径（V-NA）单元，由于计算机对孔径的控制，允许较大的景深和较宽的视野。照明源是一种双放大器、源和环型资产，旨在方便将微小的电路细节投影到4英寸的标线上。它还具有真空密封级结构，不需要外部排气管。NSR 1755 G7A晶片步进器使用三维自动化焦点控制技术，以确保数据在晶片上的精确逐层注册。它具有高精度和快速响应的阶段，它允许晶片在曝光区域的快速和准确的定位。该模型还具有内置对齐镜,无需手动对齐标线。最后，该设备具有高精度相机跟踪系统，提供了晶圆曝光数据的快速准确的定位。总体而言,NSR-1755G7A是一种先进高效的晶片步进器,具有多种功能,能够快速、准确和可靠地生产先进的65纳米光刻设备。它非常适合生产LED和半导体，以及任何其他需要精确光刻工艺的产品。