二手 NIKON NSR 1755 G7A #9226367 待售

NIKON NSR 1755 G7A是一种5轴晶圆步进器，配备了先进的远心光学器件和具有最大对准精度的先进180°快门。其高的防尘性防止颗粒进入机器，确保了可靠的晶圆处理。NIKON NSR-1755G7A具有0.1 μ m/像素分辨率和21 nm镜头尺寸精度的高精度和高速模式生成,以及低占地面积和高生产率的设计。步进器采用双夹紧机构来处理200毫米和300毫米基板。它配备了大容量的卡带装载机，最多可容纳7个卡带，并提供无缝的基板传输，防止时间损失和提高生产效率。步进器的设计有利于出色的分辨率、精确的对准和优化的吞吐量。它的远心光学器件能够减少像差,而180°快门功能可确保高精度对准,并改善在每个曝光点形成的线的对准。快门角度可以很容易地调整为微调模式。此外，它的双夹紧方法降低了系统总吞吐量，并提供了200和300毫米基板的有效处理。使用NSR-1755 G7A，用户可以访问各种工艺模块，如光刻、晶圆曝光、胶片显影和等离子体蚀刻。光刻模块提供晶圆的5轴运动和各种传感功能，允许特征的精确曝光。晶圆曝光模块能够以0.1 μ m/像素的分辨率进行高精度打印,并通过单次打印获得粉末损耗。薄膜开发模块还通过其优化的盒式磁带传输系统提供高生产率的处理。最后,等离子体蚀刻模块为用户提供了10 μ m分辨率的特征蚀刻功能.总体而言，NIKON NSR-1755 G7A是一种高性能晶片步进器，非常适合精密光刻和晶片加工。它配备了先进的远心光学器件，180°快门，以及用于高效基板处理的双夹紧机构。步进器能够提供0.1 μ m/像素分辨率和21 nm拍摄尺寸精度的高精度、高速模式生成。NSR 1755 G7A具有各种工艺模块,是微调小特性的理想设备,具有出色的分辨率和吞吐量。