二手 NIKON NSR 1755 G7A #9227621 待售

NIKON NSR 1755 G7A是一种先进的晶圆步进器，设计用于先进的光掩模开发和制造。该设备提供卓越的光掩模成像质量、高吞吐量和低拥有成本。它能够提供高达175毫米的扫描字段。该系统提供多种曝光变化,分辨率低至1.00 nm。它还为用户提供了最大的灵活性,使其能够准确、高吞吐量地生产光掩码。NIKON NSR-1755G7A配备了紧凑的单列扫描级和高精度光学单元，能够快速、精确地对准掩模和晶片。它配备了一个长寿命的光源，该光源由氙气灯和能够半正弦扫描光的进动运动光机组成。这样可以确保高通量和均匀的照明。晶圆步进器还采用了NIKON独特的扫描激光干涉仪（SLI）技术，在步进器工具中实现了前所未有的精度和可重复性。这种高精度的光学资产通过激光的干涉测量位置位移，从而提供比各种曝光环境更高的精度水平。此外,该模型符合国际光刻CAD （CLIP）标准,该标准便于与NIKON NSR光刻平台内的其他组件进行接口。它还支持大量光刻工艺技术,如Darkfield成像、接触打印、激光扫描蒙版切割和基板扫描。设备先进的图像处理能力保证了光刻缺陷和其他关键特征的高精度检测、表征和重建。此外,NSR-1755 G7A还提供了增强可操作性的GUI,以便于操作。它配备了多语言序列编辑器（OPL），以支持各种流程要求。该系统具有多种功能选项,如自动误报检测、标线匹配、改进的对准公差和低功耗预对准。总体而言,NSR 1755 G7A是一种先进的晶圆步进器,旨在满足当今要求更苛刻的光掩模开发和制造过程的要求。该设备具有优异的光学精度、高吞吐量、低运行成本，是满足先进光刻要求的理想解决方桉。