二手 NIKON NSR 1755 G7A #9299965 待售

NIKON NSR 1755 G7A是专门为先进半导体工艺设计的晶圆步进器。它是尼康公司最先进的步进器，在半导体工业中广泛用于逻辑和内存器件的制造。NIKON NSR-1755G7A具有长焦距和短焦距的双扫描系统。它以各种扫描速度提供高保真图像放置精度和稳定的操作。其增强的光学元件提供了更高的分辨率、改进的聚焦和精确的成像。步进器的最大场大小为12 "x 25"（305mm x 635mm），允许更大的设备生产。NSR-1755 G7A还提供了一系列增加吞吐量的选项。它包括一个用于在晶片上打印抗蚀剂的大衣面罩、一个用于快速对准的自动顶部工具装置以及一个多曝光自动聚焦系统。其他选项包括用于芯片调试的高速下载CMOS内存选项和用于微调图像放置精度的吞吐量控制驱动程序。NSR-1755G7A也是NIKON高级扫描和建模（SaM）软件套件的一部分。该软件允许用户分析和优化NIKON NSR-1755 G7A创建的光刻模式。该软件旨在自动化晶圆对齐、检测过程错误和增强边缘配置文件。此外,该软件还可用于开发和管理曝光预算、确定流程改进以及支持生产计划。最后，NSR 1755 G7A配备了激光干涉仪，用于定位精度，以及非接触式厚度测量。步进器还能进行晶片装卸，处理平坦和不均匀的基板。这些特性使其成为大批量生产以及研发作业的理想工具。