二手 NIKON NSR 1755 i7 #9053209 待售
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ID: 9053209
Stepper
Reduction Lens Type : 5iC1S-91359
PPD : YES
Reticle Size : 5"
Reticle Case : 8 each
Reticle Barcode Reader : YES
Movable Reticle Microscope : YES
Stage Screw : Ball Screw
Wafer Chuck : 6" ceramic
Pre Alignment 2 : YES 6" SEMI
Chip Leveling : YES
Exposure Field Size : 17.5mm x 17.5mm
RL Library Type : ARL
Extended RL Library : No
Wafer Size : 6 inch
Wafer OF Type : YES OF SEMI
Extended WL Carrier : (2) units
Inline Type : NO
Control Rack Position : Special LEFT
Alignment Sensor : LSA/FIA
Signal Tower : YES.
NIKON NSR 1755 i7是一种高精度晶圆步进器,设计用于半导体、MEMS、LED和高级封装应用的器件制造。这一新一代平台是与台积电领先的光刻专家合作设计的,旨在为最苛刻的生产要求提供更高的吞吐量。NSR 1755 i7晶片步进器提供卓越的吞吐量,最大吞吐量可达每小时90个晶片,聚焦精度可达0.07微米。它配备了先进的舞台控制设备,利用多个阵列的编码器进行高速和舞台的精确调整。晶片级还配备了自动对焦系统,可以非常精确地调节晶片图像的焦点。晶片步进器还得益于高分辨率晶片卡盘设计,该设计允许在处理各种类型的晶片时实现精确和可重现的性能。这个NIKON NSR 1755 i7平台还采用先进的投影光学器件设计,采用非球面透镜设计,以提高光学通量并减少曝光时可能出现的像差。光学单元使用5x5 mm的标线移动机器,允许与步进器一起使用大阵列的口罩。它还具有一个极化控制工具,提供衍射还原,以提高图像质量。NSR 1755 i7配备了用户友好的图形界面和自动化的作业编辑器,使用户可以轻松快速方便地设置作业序列和更改参数。此步进器包括自动从晶片盒加载和卸载晶片的机器人资产,以及用于精密晶片处理的晶片夹紧模型。NIKON NSR 1755 i7还包括用于预防性维护和服务请求管理的综合维护管理设备。该系统还提供数据记录功能来分析曝光均匀性和步进性能。它与各种数据检索源兼容,包括SNF和FabMaster,为OIF Laser Writer CHESS标准提供充分支持。总体而言,NSR 1755 i7是一种高精度晶圆步进器,旨在为半导体、MEMS、LED和高级封装应用中的设备制造提供卓越的吞吐量和聚焦精度。凭借其先进的投影光学、用户友好的界面、自动化的作业编辑器、机器人单元以及全面的维护管理机器,这个平台被设计为满足最苛刻的生产需求。
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