二手 NIKON NSR 1755 i7A #293605713 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 293605713
晶圆大小: 6"
优质的: 1990
Stepper, 6"
Wafer type: Flat and notch
Wafer loader type I and II
Carriers loading: Left and right
High and low pressure: 8 kgf/cm²
Reticle loader:
Mask size, 5"
Reticle library: 17 mm
Reticle stage:
RA Microscope
Position: 17.5 mm
FIA
LSA
Monitor
Interferometer type: 5517 A
1990 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A是一种高端晶圆步进器,设计用于在直径达300毫米的晶圆上精确绘制光聚合物层和其他材料的图案。该i7A是一种光刻设备,利用先进的光学和纳米材料在晶圆上创建精细分辨率模式。这种晶片步进器利用高速精度干涉成像透镜和优越的光学器件来产生最大的分辨率。NIKON NSR 1755I7A具有27 x 23.5英寸的大工作区域,支持直径可达12英寸的7英寸晶圆和掩模板。该系统可以同时处理多个晶片,减少处理时间,提高吞吐量。晶圆步进器与各种材料如光聚合物、环氧树脂、光刻胶等兼容。NSR-1755I7A使用先进的成像和图样技术进行精确的晶圆处理。该装置设计有一个不间断的多传感器装置,用于检查和控制过程。机器可以检测、测量和拒绝晶片上的任何缺陷,零触摸检查和低于-50°C的超低温,以减少金属迁移。NIKON NSR-1755I7A还配备了集成的自动级对级对准工具,以实现高精度。晶片步进器还具有边缘区域对准功能,有助于精确对准晶片,减少材料浪费。对准分辨率± 0.1µm。此外,NSR 1755 i7A提供1 µm/sec的快速扫描速度,可以满足广泛的生产需求。它与数据管理资产集成在一起,能够实时监控整个过程。该模型还集成了距离检测器和自动错误检测设备,帮助用户轻松查找并消除处理错误。总体而言,NIKON NSR-1755 I 7 A是一种高端晶圆步进器,旨在以最佳精度和最低成本在多种材料上产生精确的图样。该装置适用于半导体、MEMS等多种行业。
还没有评论