二手 NIKON NSR 1755 i7A #293681784 待售
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NIKON NSR 1755 i7A晶片步进器是为高精度光刻应用而设计的先进光学成像设备。该系统能够在硅、玻璃和其他用于半导体制造的材料等基板上产生高度精确的图样和图像。它具有专有的NIKON成像技术,包括自动对准装置和高速自动对焦,并补偿错误对准。NIKON NSR 1755I7A是纳米光刻、电子束光刻、VLSI制造、薄膜沉积和计量等生产工艺和研究应用的理想选择。NSR-1755I7A具有先进的光学器件,其成像分辨率低于25纳米,基板运动的高精度级高达100毫米。用户友好、直观的图形用户界面允许轻松简单的操作。步进器还拥有一台具有标准半导体配方的先进工艺控制机,非常适合大型生产环境。该工具符合ISO/JIS、SEMI和IEC标准。NIKON NSR 1755 I 7A包括集成双曝光资产和超高速扫描能力。该模型能够同时处理两个领域,并且可以将光刻工具的覆盖误差降低到小于0.1微米。该设备还能够使用剂量曝光进行曝光,这是一种照明和曝光的方法,允许一次曝光所有光刻层,提高吞吐量,提高产量。该系统包括一个清洁装置,旨在减少模式循环期间的污染。纳米级清洗装置可最大程度地减少表面污染,提高通量和良好的工艺控制。步进器还具有各种功能,包括曝光时间控制、快门控制以及多成像波长的选择。NSR-1755 I 7晶片步进器是一种多用途的机器,它提供高精度、高通量的成像,污染最小,过程控制良好。它旨在最大限度地提高基材的产量和产量,是许多半导体制造工艺的理想选择。
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