二手 NIKON NSR 1755 i7A #293681785 待售

NIKON NSR 1755 i7A是一种尖端晶片步进器设备,非常适合精密微光刻加工.它利用最新的对准、成像和照明技术,为客户提供最高的精度和产量。该系统配备了一个创新的晶片级，能够在掩模的任意点达到4nm的精度，每个周期可重复性高达1nm。这样可以减少人工干预,降低产品使用寿命期间的拥有成本。NIKON NSR 1755I7A还采用了高数值光圈NA 1.35镜头单元，以最大限度地提高图像清晰度，用于高级特征检测和提高迭加精度。这款镜头机还能产生4微米的音高分辨率，用于临界区域功率规定。除了高精度和可重复性之外,NSR-1755I7A还包括先进的数字加工和光学加工技术套件,为用户提供从中间到高复杂性的各种功能。其先进的数字加工功能包括150 nm螺距、多阵列加工、自动对准和部分曝光。其光学加工功能还包括100 nm螺距,以及3D宽SOR/WOM曝光和多孔径曝光。NIKON NSR-1755 I7A设计用于管理晶圆步进光刻的整个过程,从对齐器设置到曝光后处理。它还提供了一系列集成的过程故障排除功能（光学对齐、可靠性检查和异常检测算法）以及广泛的计量、模拟和分析工具选择。该工具非常适合最复杂的半导体和MEMS生产应用的要求，其先进的规格（包括其高精度和可重复性、强大的数字加工和光学加工技术套件以及集成工艺故障排除功能）使其成为高级晶圆步进光刻的理想工具集。