二手 NIKON NSR 1755 i7A #9062546 待售

NIKON NSR 1755 i7A
ID: 9062546
i-Line stepper, parts system.
NIKON NSR 1755 i7A Wafer Stepper是一种成本效益高的石版印刷设备,专为生产各种晶圆图桉而设计。步进器使用先进的光学技术对晶片进行制图,减少了对昂贵的光掩模的需求。步进器用于晶体管、互连和DRAM等成员的生产过程。NIKON NSR 1755I7A Wafer Stepper具有包括高精度、高动态级在内的高端闭环运动控制系统。舞台面积950mm,精度0.1微米。它具有0.05度的旋转精度,能够执行晶片阵列所需的极其快速和精确的扫描和定位。步进器还具有一个全新的光学单元,有助于减少振动。NIKON先进镜头机提供0.51 nm的卓越分辨率和均匀的散焦能力。NSR-1755I7A Wafer Stepper配备了一次曝光工具和两次曝光资产。一次曝光模型将数据从掩模传输到晶圆的曝光时间降至最低,而两次曝光设备则允许多次曝光而不会造成扫描变形。步进器带有专门的NikonVision模式生成系统。该模式生成单元提供交互式和自动掩码模式生成,并具有交互式模式调整行为和缺陷识别程序。缺陷识别程序有助于最大限度地减少晶圆模式中的潜在缺陷。NIKON NSR-1755I7A Wafer Stepper有一台先进的内置控制机器,叫做NikonStar。此工具控制所有必要的参数,如表位置、晶圆聚焦、曝光时间等。该资产还能够自动校准晶圆对准,并对倾斜和机动进行调整和校正。步进器是一种可靠、经济高效的晶片图样光刻解决方桉。它具有先进的光学技术、强大的运动控制模型和NIKON专用的模式生成设备,以提供精确的晶圆模式。利用NSR-1755 I 7 A晶片步进器,可以快速、准确地完成晶片图样的大批量生产。
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