二手 NIKON NSR 1755 i7A #9062547 待售

NIKON NSR 1755 i7A是一种高精度晶圆步进器，专为研发应用而设计。其5轴对准设备确保了晶片的最佳定位和精确扫描，分辨率高达1纳米。它有两个5.5 kW的灯源和一个5 ″ NA 0.45的高通量照明器。该系统的主要特点是35的高伽马设定，17.55英寸的最大光敏地面尺寸，以及沿X和Y轴突出的10纳米位置精度。NIKON NSR 1755I7A在吞吐量和位置精度方面均优越。它还具有0.5毫秒的超短曝光时间,可稳定地保持曝光能量的输出水平,以防止中性密度（ND）滤波器设置的变化。这样可以实现更准确、更平坦的线条曝光,并获得一致的结果。NSR-1755I7A有四个反射控制参数来优化其性能。它还具有倾斜和扭曲功能的3-D扫描仪，允许在刚性尺寸的晶片上进行高精度扫描。该设备还具有内置冗余功能,在制造细线宽的设备时提供了更高的可靠性,从而防止了造成阵列变形的情况。在成像方面，NIKON NSR 1755 I 7 A配备了先进的数字图像捕获机，能够以优异的性能使用暗场成像。该工具还提供了高精度的对齐配准，使其适用于迭加测量、计量和检查等应用。NSR-1755 I 7A对于那些希望获得卓越吞吐量、位置精度、可靠性和成像能力的用户来说,是一项出色的晶圆步进资产。考虑到它的低拥有成本和易用性，这是在像光掩模、半导体器件和MEMS这样的多种研发领域进行高级光刻应用的理想平台。