二手 NIKON NSR 1755 i7A #9212123 待售

NIKON NSR 1755 i7A是一种最先进的光刻生产工具。它是一种高精度的晶圆步进器，可以产生尺寸小至0.025 µm的先进的一级和两级特性。设备的集成设计结合了高通量、加工能力和高产量制造的稳定性以及极低的产量损失。纳米覆盖和配准精度保证了良好的线宽控制和模具的均匀性.系统的核心是高精度的六轴运动机器人，保持纳米精度，同时提供6G的最大加速度。它具有小于1nm的跟踪可重复性。机器人进一步集成了高速照相面罩更换器和高精度基板和面罩对准器，以最大程度地减少设置时间。NIKON NSR 1755I7A的其他功能还包括一个可变的自动镜头对准单元，它能准确地保持对准和对焦质量，以及一个高灵敏度、宽范围的曝光机，动态范围为2个数量级。它还可以扩展和升级,以满足未来的需求。NSR-1755I7A是为较长的循环时间和广泛的基材而设计的。它设计用于在55至253毫米晶片之间安全加工，并可在低至16°C的温度下运行，以确保边缘的最小收缩。它还能够处理每晶圆多达30次曝光，从而减少了整个周期的时间。功能丰富的NIKON NSR-1755 I 7A使得它成为许多光刻应用的首选，包括MEMS、光电器件和半导体。其先进的技术和高性能使其成为任何规模生产（从原型设计到全批量制造）的绝佳选择。