二手 NIKON NSR 1755 i7A #9236936 待售

NIKON NSR 1755 i7A是为集成电路量产而设计的大型光刻设备。它是一个全场、无污染、无害环境的系统。NIKON NSR 1755I7A在半导体器件制造中可实现高通量、高精度、高重复性。NSR-1755I7A利用500 mm的扫描字段,剩余扫描字段偏差（RMS）为0.5 μ m或更小。它支持每小时25.3晶圆的扫描速率,同时保持高分辨率和吞吐量。有效层聚焦深度（DOF）大于50 μ m，抗蚀剂放置平面度在0.18 μ m以内。该系统实现的高分辨率允许高达0.6 μ m的临界尺寸变化。它还具有先进的激光迭加对准单元，可提供高达0.1 μ m的层间迭加精度。此外，该机配备了高灵敏度激光污染还原系统，使吞吐量和产量得以提高。这是由于工具内置的晶圆污染预防措施抑制了粒子进入光刻资产的可能性。它还利用先进的高精度减振系统来控制扫描光学和定位模型中的热和电影响。此步进器还具有独特的双曝光设备、双四头扫描和先进的不依赖焦点深度扫描系统。双曝光单元允许同时处理基板的相对侧面，而不依赖聚焦深度的扫描机则降低了连续光敏层因DOF不对准而失效的可能性。总体而言,NIKON NSR-1755 I 7步进器是一种先进且可靠的光刻工具,具有许多最新技术。为集成电路的批量生产提供高吞吐量、高精度、高重复性。其先进的设计确保了生产各种集成电路设备的高性能和可靠的结果。