二手 NIKON NSR 1755 i7A #9247254 待售

NIKON NSR 1755 i7A是一种高端晶圆步进设备，为开发和制造错综复杂的微尺度模式进行了优化。它的最大分辨率为0.3µm，可以加工直径高达200 mm的基板。步进器使用专利的NIKON N-Tilt级技术，允许在曝光时可控制的晶圆高精度对准。NIKON NSR 1755I7A还具有X/Y信息技术,可提高成像精度。该成像光学器件提供0.14倍的减少模式和吞吐量的0.4Gbps。NSR-1755I7A由两台功能强大的计算机提供动力,一台用于控制系统,另一台用于图像处理和计算单元。控制机提供了多种编程功能，如一对用于自动过程优化的宏。此外，NIKON NSR-1755 I 7A能够达到288个二进制控制通道和9个运动轴。该工具还包括用于精确放置有缺陷芯片的模具速度控制装置。基板自动对齐单元可确保基板和曝光掩模之间的精确对齐。NSR-1755 I7A的保形曝光资产具有很高的吞吐量，平均收益率超过99%。NSR 1755I7A还配备了高精度的线性光对准模型。它具有高速曝光绘图仪，并配备了实时图像处理设备。步进器还支持板载系统进行缺陷审查，并支持允许机器处理多次曝光的连续报价和接受单元。此外,NSR 1755 I 7A还具有优化曝光过程的各种高级功能。它的x-shift和y-shift功能允许掩模相对于基板的精确定位，而其差分焦点补偿（DFC）功能自动补偿噪声、焦点和失真。其自动张贴功能自动补偿晶圆上的关键尺寸错误。最后,它的高级设计功能可实现高达1/100微米的对准精度和最大3 D z轴控制。