二手 NIKON NSR 1755 i7A #9248848 待售
网址复制成功！
ID: 9248848
晶圆大小: 6"
优质的: 1991
Stepper, 6", parts system
System: PDP11/73
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: 6" Flat
Wafer stage screw: Ball screw
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Type 1
Flat type
Cassette (Left and right)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15/17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and chamber
Chamber model: ASAHI (S78)
Chamber size: 1500
VT286
Camera control unit
Video converter 2
VDA1401A
(2) Plates
LSA Laser tube
LC-SIG4
WGA Laser tube
X and Y Ball screw
X and Y Motor unit
AFINTF (AF68)
HEWLETT-PACKARD / AGILENT / KEYSIGHT 5517A Laser head
Z Motor unit
AF Motor unit
CT Unit
Pre 1, 2 units
Cassette plate
Vacuum box
(2) Laser power
Power supply
Fly eyes unit
(2) PLC CPU
Missing parts
1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A是一种高精度、下一代晶圆步进器，旨在满足大型生产线的需求。其特性提供了无与伦比的吞吐量、紧密的特性和迭加配准。NIKON NSR 1755I7A配备了获得NIKON专利的超高分辨率9轴扫描设备，用于精确的晶圆对准、薄膜镀铬的精确对准以及具有AE测量能力的高达0.5 μ m的步进和重复定位精度。此外,其内置的分光晶片步进系统还提供了一个独特的功能,即视图字段重迭,可快速对齐多次曝光。NSR-1755I7A由功能强大的基于Windows的7E控制器驱动,具有用户友好的界面和通用的模式生成工具,便于操作和过程控制。该单元还附带了NIKON i-Vision软件包，该软件包包含缺陷检查和迭加控制功能。NIKON NSR 1755 I 7A结合了单显微镜方法，减少了机械零件的数量，简化了对准程序。这允许快速曝光时间，使机器能够产生高质量的图像，即使在高对齐速度。NSR-1755 I 7 A的其他特性包括它的多重掩码对齐工具，这确保了在同一个字段中添加的多个掩码可以精确对齐；其自动缝合模式，可补偿全球胶卷；以及滤波器对齐计量，消除了非标准的对齐精度模式。此外,NIKON NSR-1755 I 7 A非常适合不同的工艺环境,具有可配置的浸入式液位、多室配置和可选的zoner增压器选项。它的模块化设计使得安装和维护更加容易。总体而言,NIKON NSR-1755I7A旨在提供快速的吞吐量和高精度图像,并具有严格的配准、精度和迭加控制。这种晶片步进器是大型生产线晶片加工制造的理想选择。
还没有评论