二手 NIKON NSR 1755 i7A #9250067 待售
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ID: 9250067
晶圆大小: 6"
优质的: 1991
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Inline + Cassette (L)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
VT286
Camera control unit
Video converter 2
VDA1401A
(2) Plates
LSA Laser tube
LC-SIG4
WGA Laser tube
X & Y Ball screws
X, Y & Z Motor units
AFINTF AF68
HP / HEWLETT-PACKARD 5517A Laser head
AF Motor unit
CT Unit
Pre 1&2 Units
Cassette plate
Vacuum box
(2) Laser power supplies
Power supply
Fly eyes unit
(2) PLC CPU
Missing parts
1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A是一种最先进的晶圆步进器，旨在满足下一代半导体制造的需求。本机采用数字光学技术，在最先进的技术中，以紧密的特征控制和出色的迭加，对光掩模进行高分辨率成像。设备配置了两根曝光光束，可处理12毫米至300毫米的一系列基板。它与晶片位置和对准的自动控制相结合.高精度3轴级与1轴倾斜控制相结合,确保可重复控制成像所需的所有轴。它能够达到0.25 µm的最大分辨率，同时保持1.5µm以内的对准精度。NIKON NSR 1755I7A带有一个自动化的过程控制平台,允许用户以最少的人工干预来控制成像过程。这个控制平台在整个任务周期中监视和调整暴露剂量水平和过程参数，从而优化成像质量。它具有很高的测量精度，可以检测晶圆上的微小缺陷，并在不符合发生之前停止投影成像系统。此外,NSR-1755I7A还配备了高级数据分析和数据管理软件,允许用户分析图像并捕获数据以进行进一步分析。该数据分析和管理单元支持缺陷分析、剂量数据和其他质量控制参数的分析。NSR 1755 i7A具有很高的可靠性,并包含冗余组件,以确保生产应用程序的正常运行时间。它还设计了一个生态友好的焦点，减少水和能耗的操作，创造一个更好的环境。该机设计用于安全操作和维护，以确保长期性能。综上所述，NSR-1755 I7A是一种先进、通用的晶圆步进器，旨在满足下一代半导体制造的高需求。其数字光学技术和先进的过程控制平台使用户能够在最高精度要求内实现最佳成像效果。
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