二手 NIKON NSR 1755 i7A #9250068 待售
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ID: 9250068
晶圆大小: 6"
优质的: 1990
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Cassette (L+R)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temp: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1990 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A是一种晶片步进器，配有高性能投影镜头，用于精确和高精度的操作。这种先进的设备专为15个nm节点及以下的节点而设计,具有全自动操作、卓越的覆盖精度以及高达行业平均水平30%的吞吐量。NIKON NSR 1755I7A还提供了范围广泛的高程模式，从标准到超高精度模式，具有纳米级精度。NSR-1755I7A具有基于中性粒子光学的新一代投影光学。此过程允许在15 nm节点及以下进行操作,而不会增加投影放大倍率。此外，投影图像在整个视场上的均匀性也有所提高。加上基于CCD的自动对准系统，这种步进器提供了高度精确的晶圆对准，从而提高了覆盖精度。NSR 1755I7A有一个12英寸的晶圆级，配备了无与伦比的2秒的跳动时间和一个基板倾斜校正单元。这台机器可提供最大的吞吐量和产量,并且能够在-50°C的极低温度下运行,从而降低了与温度相关的掩模模式过度暴露的风险。此外，NIKON NSR-1755 I7A配备了全自动过程控制工具，无需人工干预即可实现准确、稳定的操作。它还具有先进的高灵敏度红外对准资产，允许快速曝光对准，而无需光学对准模式。使用NIKON NSR 1755 I 7 A晶圆步进器,可以精确、均匀地投影复杂的掩模图桉,从而获得极高的曝光质量。这与该型号的高吞吐量、低拥有成本和无与伦比的性能一起,使其成为下一代电子设备大批量生产的理想解决方桉。
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