二手 NIKON NSR 1755 i7A #9254113 待售

NIKON NSR 1755 i7A是下一代沉浸式多束晶片步进器，设备面积950mm x 950mm。这款最新型号的NIKON NSR系列集成了一个创新的i7A引擎,可维护更少的曝光时间,提供出色的成像功能和高吞吐量。NIKON NSR 1755I7A基于独特的数字多光束启用平台,可提高整体系统性能。该专利设备能够每秒提供多达100次曝光,从而带来前所未有的吞吐量。光学机器采用了具有5倍和1倍减小放大能力的七束投影仪。此高级资产大大提高了吞吐量,并提高了准确性和更高的统一性。光学元件安装在可调节的直线级上,以确保成像灵活性和稳定的平台。该型号配备了最小化振动、延长使用寿命的空气轴承主轴。NSR-1755I7A设计用于各种基材，从薄膜石英到SOI晶片和厚玻璃。它配备了垂直和对角晶圆处理的大自动载荷区域。这样可以一次装载多达25个8英寸和8个12英寸晶圆。该设备还设计成适合任何洁净室或生产环境,而无需进行其他修改。闭环E光栅和标线识别等先进技术提供了对曝光时间和最小步长的高度控制,以实现精确成像。NIKON NSR-1755I7A是一种高效、功能强大的晶圆步进器,适用于大批量生产环境。其先进的多波束技术实现了更高的吞吐量和均匀性。其可变光学系统提供精确的成像，其自动载荷区域使各种基板得以处理。它的开放式体系结构使维护成本和整体成本保持在较低水平,使NSR 1755 i7A成为多层流程应用程序的一个很好的单元。