二手 NIKON NSR 1755 i7A #9254167 待售
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ID: 9254167
晶圆大小: 6"
优质的: 1991
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball screw
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Inline and cassette (Left)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A是一种高精度晶圆步进器，用于在洁净室环境中在半导体晶圆上制造集成电路。它是一种自动光刻工具，利用光根据预先编程的设计在晶圆表面上创建图样。NIKON NSR 1755I7A设计为提供高阵列精度,曝光面积为420mm,现场尺寸为5.7um。NSR-1755I7A配备了两个独立的光源。其中一个源是KrF Exculite激光器，提供248nm的波长和15ns的脉冲长度。该光源使机器能够制造高保真度的光刻图桉。NIKON NSR-1755I7A还配备了Hamamatsu H8500光电倍增器,用于检测光强度。通过这个辅助源，NIKON NSR 1755能够精确地测量和控制KrF exculite激光器的光输出。除了高精度设计外，NSR 1755 i7A还以容量大着称。这个晶片步进器能够步进2"-6"晶片，以及高达400mm平方的曝光模式。它还能够每小时处理多达30个晶圆。此外，它的曝光头是能够精确的，可重复步骤和重复模式与0.1µm最大细胞大小。机器还包括一个高级级系统，它允许用户快速定位晶圆在所需的坐标。它还包括各种用户可配置的参数,从而实现精确的晶圆级控制。此自动精密曝光系统（APES）包括自动聚焦功能,可调整曝光设置以保持一致的高速和准确性。NIKON NSR 1755 I 7A是一种极可靠的晶圆步进器，适合苛刻的生产环境。它采用符合行业标准安全法规的先进安全协议进行设计，以确保清洁室的安全运行。其低维护需求和坚固的设计使其能够长期连续运行。NSR 1755I7A是一种可靠、高性能的晶圆步进器,非常适合在清洁环境中制造复杂的半导体元件。其容量大、精度高、设计健壮，是目前最可靠的光刻系统之一。
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