二手 NIKON NSR 1755 i7A #9254168 待售
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ID: 9254168
晶圆大小: 6"
优质的: 1990
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball screw
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Cassette (Left and right)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1990 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A晶圆步进器是为半导体制造设计的先进曝光工具。它具有无与伦比的专业表现和创新水平。该i7A具有两轴电动晶片级系统，可对基板进行高精度对准和跟踪。它也有一个称为自适应高步进精度（Adaptive High Step Accuracy，简称AHSA）的功能，可以快速准确的处理高解析度的模式。这台机器能够处理宽度在6到200毫米之间的晶片。它具有高达800毫米/秒的超高速扫描模式，并具有高精度控制器。这有助于确保晶片上模式的完美聚焦、对齐和曝光。它还具有一个称为Sub-field Processing的独特功能，使得多个字段可以同时处理。它还拥有一整套计量工具，允许用户监控制造过程。该i7A还附带了一种名为FEM （Fast Extreme Multi-field）软件。此软件使用户能够创建多种阵列技术,从而实现复杂而复杂的设计。最后，i7A采用了最先进的安全特性。其先进的安全选项包括双侧空气爆炸风扇、防静电屏障以及紧急停止功能。所有这些功能确保了操作过程中的最大安全性和可靠性。总之，NIKON NSR 1755I7A晶圆步进器是为先进的半导体制造商设计的尖端曝光工具。该i7A具有强大的扫描和计量学功能以及多用途的阵列选项,是任何严肃的晶圆处理任务的完美工具。
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